De Auto SE van Horiba Jobin Yvon krijgt IC Industry New System Award 2008

De Auto SE van Horiba Jobin Yvon krijgt IC Industry New System Award 2008 van ACAL BFi Nederland - BFi OPTiLAS

Door: ACAL BFi Nederland - BFi OPTiLAS  16-01-2009
Trefwoorden: Bfi Optilas, Bfioptilas, Dunne Lagen,

De Auto SE van HORIBA Jobin Yvon heeft recent de IC Industry New System Award 2008 gekregen. De Auto SE is het nieuwste optisch metrologie instrument voor het meten aan dunne lagen.

De IC Industry Awards is een erkend platform dat de semiconductor industrie de gelegenheid geeft om producten en toepassingen voor de industrie te beoordelen. Het juryrapport vermeldde: Wij zijn van mening dat de Auto SE een belangrijk keerpunt voor Spectroscopische Ellipsometrie is omdat er zeer snel en eenvoudig nauwkeurige kwaliteitscontrole van dunne films kan worden uitgevoerd.

Het meten aan dunne lagen wordt met de Auto SE niets meer dan een druk op de knop. De meting vindt binnen enkele seconden plaats, waarna er een compleet beeld kan worden gegenereerd van de laagdikte, de optische eigenschappen, ruwheid en inhomogeniteit van uw monster.

De Auto SE is standaard voorzien van een gemotoriseerde XYZ tafel, directe beeldvorming van de te bemeten locatie en gemotoriseerde wisseling tussen verschillende spotgroottes.

De Auto SE garandeert tevens dat u een correcte meting uitvoert, alle belangrijke onderdelen van het systeem zijn voorzien van diagnostiek, die de correcte werking van de apparatuur in de gaten houden.

De Auto SE is een turn-key instrument dat ideaal is voor het routinematig meten aan dunne films.

 

Mocht u na het lezen van dit bericht vragen hebben dan kunt u ons bereiken op ons telefoonnummer 0172-44 60 60 of per e-mail [email protected]

Trefwoorden: Bfi Optilas, Bfioptilas, Dunne Lagen, Ellipsometrie, Ellipsometry, Horiba, Thin Layers,

Contact ACAL BFi Nederland - BFi OPTiLAS

E-mail

Deze pagina afdrukken

Share